[实用新型]一种芯片显影机用取片装置有效
申请号: | 201922287957.X | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211180531U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 许国庆 | 申请(专利权)人: | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/26 | 分类号: | G03F7/26 |
代理公司: | 济南宝宸专利代理事务所(普通合伙) 37297 | 代理人: | 荆向勇 |
地址: | 274000 山东省菏泽市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片显影机用取片装置,包括连通管、气缸、海绵垫、推板、电动推杆、电源盒、开关、外壳、横板、防滑条、壳体、底盖、连接气囊、通气板、橡胶垫、吸盘和连接板。本实用新型可以通过在通气板底部安装多个吸盘,可以在进行取片时芯片表面受力均匀,避免因为负压引起的速度过大导致损坏芯片,吸盘底部的橡胶垫可以在取片时防止芯片损伤;可以通过伸缩杆和气缸快速进行取片,通过在壳体内部设有海绵垫可以保护气缸,壳体底部通过连接板固接底盖,底盖可以在取片时进行定位,也可以在取片过程中保护芯片,避免芯片在取片过程受到损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 显影 机用取片 装置 | ||
【主权项】:
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