[实用新型]一种单晶金刚石生长过程中的监测装置有效
| 申请号： | 201922288087.8 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN210922513U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王垒;温简杰 | 申请（专利权）人： | 上海昌润极锐超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 金彦;许亦琳 |
| 地址： | 201111 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，包括化学气相沉积设备、厚度监测设备和移动平台；化学气相沉积设备设有沉积室、沉积平台和可视窗；可视窗用于监测放置于沉积平台上的金刚石，沉积平台设于沉积室内；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜，物镜用于通过可视窗监测放置于沉积平台上的金刚石；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据，物镜设于移动平台上且朝向化学气相沉积设备。该监测装置通过移动平台和厚度监测设备，可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产，减少水、电、气、人工等各方面的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 过程 中的 监测 装置 | ||
【主权项】：
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