[实用新型]一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置

摘要

一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，涉及半导体加工技术领域，该防掉落装置包括防护筛板，防护筛板设置于水槽内，与水槽的槽壁连接。防护筛板位于基座下方，防护筛板在托盘所在平面的正投影将托盘完全覆盖，防护筛板设置有多个贯穿的筛孔。在进行打磨的过程中，如果有工件脱落，防护筛板这可以将其接住，防止工件掉入水槽中，对管道造成堵塞。对于防护筛板中的工件，工作人员用夹子即可将其取出，取出过程中不需要停止打磨作业。整个防掉落装置的结构简单，但使用方便，具有较高的实用性。