[实用新型]一种切削溅射靶材的工作台清理装置有效
申请号: | 201922305325.1 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211515270U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 邢伟亮 | 申请(专利权)人: | 中诺新材(北京)科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 何晖 |
地址: | 100089 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种切削溅射靶材的工作台清理装置,包括把手、连接杆和清扫头。其中,把手包括内部中空的管道和软木条,软木条插入管道内;连接杆的一端插入软木条内;清扫头包括第一夹板、第二夹板和橡胶条,第一夹板与连接杆焊接,橡胶条设置在第一夹板与第二夹板之间,第一夹板与第二夹板通过螺栓连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 切削 溅射 工作台 清理 装置 | ||
【主权项】:
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