[实用新型]蒸发源喷嘴有效
| 申请号： | 201922310392.2 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN211522301U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 轩景泉;钱海涛;林文晶;马晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源喷嘴。该蒸发源喷嘴包括喷嘴本体，所述喷嘴本体包括用于使蒸发材料流通的通道；内套，所述内套和所述通道的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套通过所述转动组件可转动地设置于所述通道内。本申请提供的蒸发源喷嘴的至少部分内套通过转动组件可转动地设置于通道内，如此有利于附着在内套上的冷凝材料蒸发或回落至坩埚，从而降低了蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性，提高了蒸镀的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 喷嘴 | ||
【主权项】：
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