[实用新型]一种基板卡夹及基板存储装置

摘要

本实用新型公开了一种基板卡夹及基板存储装置，涉及基板装载领域，一种基板卡夹，包括卡夹框架，所述卡夹框架内水平滑动连接有基板承载件，所述基板承载件包括用于盛放基板的支撑件和固定在支撑件一侧的推拉件，所述支撑件的上表面开设有用于将基板有效区域悬空的凹槽，本实用新型结构简单，与现有的基板卡夹相比，一方面可以保护基板不受外界光线和悬浮颗粒影响，另一方面通过对基板的水平储存和搬运降低光刻胶向基板一侧流动而造成光刻胶均匀性恶化的可能性，同时水平推压推拉件即可取放基板，使用快速方便，提升使用效率和成品率，降低生产成本。