[实用新型]管式扩散炉的反应管装载结构

摘要

本实用新型公开了一种管式扩散炉的反应管装载结构，石英舟包括：两块沿轴向间隔的端板、多根连接两块端板位于端板底部的下槽棒，多根连接两块端板位于端板上部的分隔棒和间隔设置的上槽棒，使端板之间通过分隔棒分隔形成多列沿反应管径向并排设置的硅片插槽。本实用新型通过分隔棒分隔形成两列沿反应管径向并排设置的硅片插槽，使石英舟可双列垂直插片，能有效利用石英管的内径空间，增加单管装片量、提高单管产能；且两列硅片插槽的上槽棒共用中间的一根分隔棒，节约装载空间。还通过设置多根长度不同的进气管，且每根送气管位于反应管内的长度可调整，使进气点位置可调，具备分段送气的功能，效提升反应管内气流的均匀性，从而提高工艺效率。