[实用新型]晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置有效
| 申请号： | 201922317676.4 | 申请日： | 2019-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN211394678U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;刘红兵;朱雄;鲁珊 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D7/12;C25D21/00;C25D21/02;C25D21/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其结构简明，方便使用，能充分使得药液均匀且保证较高的药液质量。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆湿制程设 备用 超声波 电镀 装置 | ||
【主权项】：
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