[实用新型]晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其结构简明，实用性强，通过抖动驱动机构驱动抓手机构往复抖动，带动挂架机构及挂篮先行去除粉末和水滴；通过在抓手机构下设置挂架机构，使抓手机构不直接接触挂篮，由于挂篮在清洗过程中处于于处理槽内，以此，抓手机构也就远离于挂篮，进而避免与处理槽内药水接触。