[实用新型]一种旋转靶检测装置有效
申请号: | 201922322833.0 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN210952670U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | G01B5/25 | 分类号: | G01B5/25;G01B5/252 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转靶检测装置,包括分别安装于旋转靶两端口的检测盖和检测杆,检测盖设置有安装腔,安装腔的形状与旋转靶端口形状相适应,安装腔的内侧设置有内螺纹,旋转靶的端口设置有安装螺纹,内螺纹的形状与安装螺纹形状相适应,检测盖的一端开设有安装通孔,检测杆设置有内杆部和手杆部,手杆部设置在内杆部的两端,内杆部的外侧面与旋转靶的内壁间隙配合,手杆部的外侧形状与安装通孔的内侧形状相适应,检测盖、安装通孔与检测杆同轴配合。本实用新型的旋转靶检测装置,能检测旋转靶的两端端口安装螺纹的同轴度,严格验证靶材形状尺寸的可靠性,降低售后返修率。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 检测 装置 | ||
【主权项】:
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