[实用新型]送取样装置有效
| 申请号： | 201922325814.3 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211170970U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 向洪春;陈长荣 | 申请（专利权）人： | 上海思擎企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/12;C30B25/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种送取样装置，包括：反应室，用于衬底的外延生长；真空室，包括真空腔，所述真空腔被抽真空至设定的真空度，所述真空室通过第一密封门和所述反应室连接；预热室，用于对石墨托盘上的衬底预热，所述预热室通过第二密封门和所述真空室连接；送样室，用于送取石墨托盘，所述送样室通过第三密封门和所述真空室连接；机械手，设置在所述真空室内，用于在所述送样室、所述预热室和所述反应室之间搬运石墨托盘。本实用新型的衬底升降温时间短、衬底放样和取样速度快、生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 取样 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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