[实用新型]一种带切割道的软结构纳米压印模具有效
| 申请号： | 201922329343.3 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211375312U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 张琬皎;刘寅;张颖 | 申请（专利权）人： | 杭州欧光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带切割道的软结构纳米压印模具。包括基板；包括切割道遮光层，切割道遮光层布置于基板上表面；包括微纳结构层，微纳结构层设置于基板下表面，微纳结构层为覆盖在基板下表面的带有微纳凹凸表面的材料层；微纳结构层的凹凸形状与所需制作的微纳产品的凸凹形状相反。本实用新型可使在纳米压印晶圆上，在设计好的切割道区域内没有压印胶残余层直接露出基底材料，这样避免了由于压印胶残余层给后续切割工艺带来的困难，大大提高良率和产品质量，降低切割时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 结构 纳米 压印 模具 | ||
【主权项】：
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