[实用新型]一种用于半导体制造设备的钟摆阀有效
| 申请号： | 201922343212.0 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211624251U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 金永春 | 申请（专利权）人： | 无锡永井电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/06 | 分类号： | F16K3/06;F16K3/10;F16K3/314;F16K31/04 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 王俊 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于半导体制造设备的钟摆阀，涉及半导体制造设备领域。包括：阀门本体；用于调节气体通道的振子板，在第一驱动电机的带动下进行转动；密封板，设置在振子板的上侧，并在密封结构的带动下在贴紧和释放振子板的两个状态之间移动；密封结构包括：圆环本体，在其圆周方向设置有多个贯通的移动槽，每一移动槽内设有向旋转方向延伸形成的倾斜面；轴辅材，一端与密封板固定，另一端为卡接于倾斜面的卡头，沿着倾斜面升降；弹性辅材，设置于卡头的上侧；第二驱动电机传动轴与原动体连接；圆环本体和原动体之间具有用原动体的动力旋转圆环本体的动力传达部。本实用新型能够提高反应室与泵之间的可靠密封，提高密封动作的响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 制造 设备 钟摆 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡永井电子有限公司，未经无锡永井电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922343212.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型的单向轴承内套
- 下一篇：一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门
