[实用新型]带有减震圈的电磁透镜有效
| 申请号： | 201922352531.8 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN210805693U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李传林;陆广烈;李自立;姚莉 | 申请（专利权）人： | 苏州优波光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张培柳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带有减震圈的电磁透镜，包括；磁轭，包括底板、与底板相对间隔设置的顶板、以及连接底板和顶板的外筒；底板设有第一通孔，底板的内壁上设置有连通第一通孔的第一内筒；顶板上设有第二通孔，顶板的内壁上设置有连通第二通孔的第二内筒，且第二内筒与第一内筒相对间隔设置；线圈，设于外筒内并套设在第一内筒及第二内筒上，线圈的底部与底板紧贴，线圈的顶部与顶板具有间隙；减震圈，设置在间隙中并套设在第二内筒上；且减震圈紧贴线圈及顶板设置。通过在线圈与顶板之间形成的间隙中设置减震圈，有效防止电磁透镜在工作中由于磁场的作用会使线圈与磁轭之间产生轻微的震动，有效保证扫描电子显微镜的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 减震 电磁透镜 | ||
【主权项】：
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