[实用新型]一种半导体设备的器件清洗装置有效
| 申请号： | 201922362838.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN212069670U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 韩猛;马国乾 | 申请（专利权）人： | 武汉越源环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人： | 罗浩 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江岸*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备的器件清洗装置；属于设备清洗技术领域；其技术要点包括一种半导体设备的器件清洗装置，包括底座和清洗罩，底座的两侧表壁共同通过轴承转动连接有第一螺纹杆，第一螺纹杆的另一端延伸至底座的外部并固定连接有第二皮带轮，第一螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，螺纹套的上表壁固定连接有固定杆，本实用新型螺纹套通过固定杆带动U型支撑座实现了水平移动，将夹持装置移动至清洗罩的左侧，使超声波发射器对晶片进行清洗，从而实现二次清洗，能够有效的的对半导体设备的器件进行清洗，第二夹板可以水平移动，可以适用于不同大小的晶片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 器件 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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