[实用新型]一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置有效
申请号: | 201922363107.3 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN210952671U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 周其刚;黄家荣 | 申请(专利权)人: | 南京欧美达应用材料科技有限公司 |
主分类号: | G01B5/25 | 分类号: | G01B5/25;G01B5/252 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 211102 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,包括双平行轨道和单轨道,所述双平行轨道与所述单轨道平行设置,所述双平行轨道一端上固定设置有固定尾座,所述双平行轨道另一端上滑动设置滑动尾座,所述固定尾座和滑动尾座上活动连有转动杆,两个所述转动杆相对设置,所述转动杆的前端连有用于固定旋转靶材两端的夹头,所述单轨道上活动设置有滑动块,所述滑动块上连有支撑调节杆的下端,所述支撑调节杆的上端连有百分表。本实用新型提供的一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,结构简单、操作方便,能够方便地对旋转靶材进行直线度和同心度的检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 直线 同心 检测 装置 | ||
【主权项】:
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