[实用新型]一种掩膜板

摘要

本实用新型实施例公开了一种掩膜板，该掩膜板包括掩膜板本体、对位标记以及至少两组对位图案组；至少两组对位图案组包括甲和乙对位图案组；甲、乙对位图案组至少包括对应的第一对位图案和第二对位图案，第一对位图案包括第一中心和第一边缘点，第二对位图案包括第二中心和第二边缘点；第一甲边缘点、第二甲边缘点、第一乙边缘点和第二乙边缘点均位于对位标记的边缘上，且第一甲中心和第二甲中心的连线经过对位标记的中心，第一乙中心和第二乙中心的连线经过对位标记的中心。本实用新型实施例的技术方案，无需在晶圆上设置对位标记，仅在掩膜板上设置对位标记和对位图案组便可以快速准确的进行掩膜对位，不需外部设备辅助，操作简单。