[实用新型]一种改善均匀性的扩散炉进气装置

摘要

本实用新型涉及一种改善均匀性的扩散炉进气装置。它包括有相互连接的炉外管道和炉内管道，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管和连接管，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，所述喷气管的端部为密封设置，喷气管的管体上均匀设有若干个排气孔，各个排气孔的孔径相同。本实用新型整体设置在扩散炉的顶部且水平分布，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。