[实用新型]一种智能等离子体清洗系统有效
申请号: | 201922375745.7 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN211726803U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 陈本富 | 申请(专利权)人: | 四川宇天真空科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 637260 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种智能等离子体清洗系统,包括控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵;控制器的控制信号输出端与脉冲电源的输入端连接,脉冲电源的输出端与电极板连接;浮子流量计与工艺气体接口连接,且浮子流量计的数据输出端与控制器的数据输入端连接;工艺气体接口设置在腔体外部,在腔体外部设有腔门,且在腔体外部还设置有CF电极法兰、KF接口法兰和活动铰链;CF电极法兰与电极板连接,KF接口法兰设置在CF电极法兰下方等。本实用新型利用触摸控制,能够减少热损伤,清洗高效均匀,较低的处理温度,不存在热损伤和热氧化问题,使用成本低、耗损小、环保性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 智能 等离子体 清洗 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川宇天真空科技有限公司,未经四川宇天真空科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201922375745.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种新型隔热斗篷
- 下一篇:一种新型有色金属焊接枪