[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的干花篮装置

摘要

本实用新型涉及一种适用于大尺寸硅片的干花篮装置。它包括有两片上下间隔分布的挡板和若干根连接两挡板的连接杆，还包括有三片竖直固定设置的侧板，三片侧板与两片挡板组成无盖长方体结构，所有连接杆均位于三片侧板的外侧，所述无盖长方体结构的开口一侧为无遮挡设置，每片侧板上均设有等间距排布且水平的卡齿，卡齿为直条形，相邻卡齿之间形成有卡槽，三片侧板上的对应卡齿为等高设置。硅片从无盖长方体结构的开口一侧送入或取出，硅片与三片侧板上的卡槽插接，硅片的三侧均得到较好的支撑，减少硅片受重力而产生的形变。