[实用新型]一种表面微波等离子体镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种表面微波等离子体镀膜装置，包括依次连通的等离子发生室、混合室和沉积室；等离子体发生室为一方形腔体，其中设有2‑18根平行设置的石英玻璃管，石英玻璃管的两端面各设有一连接口；等离子体发生室的两侧各设一微波发生装置，每个微波发生装置均通过一微波功率调节器连接多个同轴波导，同轴波导的数量与石英玻璃管的数量相等且一一连接于石英玻璃管的连接口上；等离子发生室的顶面上连接有工作气体进口。本实用新型的表面微波等离子体镀膜装置，该镀膜装置能够实现大面积的纳米薄膜，提高了生产效率，并且镀膜的均匀性好。