[实用新型]微型集成式气体传感器有效
| 申请号： | 201922388339.4 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211263278U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 235000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微型集成式气体传感器，其包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构直接形成在所述测试电极上；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的加热层，所述加热层朝向所述气体敏感结构，且所述加热层与所述气体敏感结构无直接接触。本实用新型的气体传感器可靠性高，且该气体传感器在使用环境性能要求比较高的情况下可以满足需求，而且还可以避免多层薄膜结构在高温下使用造成的热应力和热膨胀系数匹配方面产生的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 集成 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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