[实用新型]一种防静电监测系统有效
| 申请号： | 201922395117.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN212083638U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 石巍;王继东 | 申请（专利权）人： | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/58 | 分类号： | G01R31/58;G01R31/52;G01R31/54 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种防静电监测系统，它包括第一线路(1)、第二线路(2)和接地线路(3)，所述第一线路(1)上设置有切割电机(4)和第一电阻R1，所述第二线路(2)上设置有切割平台(5)和第二电阻R2，所述接地线路(3)上设置有接地电阻R，所述第一线路(1)和第二线路(2)相互并联后与接地线路(3)相串联。本实用新型能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控，一旦发生开路、短路等异常故障，可立即通知操作人员及时处理，避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产，对产品质量造成不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 监测 系统 | ||
【主权项】：
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