[实用新型]一种MEMS芯片有效
| 申请号： | 201922402214.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211792034U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勋;吴安生;刘波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS芯片，所述MEMS芯片包括：具有背腔的衬底，以及设置在衬底上的平板电容器组；所述平板电容器组至少包括第一平板电容器结构和位于所述第一平板电容器结构下方位置且与第一平板电容器结构呈平行布置的第二平板电容器结构；所述第一平板电容器结构包括有第一振膜和第一背极；所述第二平板电容器结构包括有第二振膜和第二背极。本实用新型提供的MEMS芯片的第一平板电容器和第二平板电容器可形成差分电容以改善线性失真，提高抑制线性失真的能力，增强MEMS芯片的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 | ||
【主权项】：
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