[实用新型]基片转移装置

摘要

本实用新型提供一种基片转移装置。所述基片转移装置包括设置有旋风吸盘的机械手，因而可以通过向所述机械手导入一定压力的气流而执行吸附操作。在连接压缩气源和所述机械手的主气路上设置有压力调整单元，所述压力调整单元可以根据电信号对导入的压缩气体进行比例调整后再传输至所述机械手。利用所述基片转移装置吸附不同厚度和重量的基片时，可以通过电信号的变化来改变压力调整单元的输出，进而改变输入到机械手的气流压力，不需要人工操作减压阀来减压，可以实现精确调节气流压力，使基片吸附更加牢靠，有助于降低碎片风险，提高作业效率。