[实用新型]一种AVS精度验证机有效

专利信息
申请号: 201922408909.1 申请日: 2019-12-28
公开(公告)号: CN211877809U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 杨海生;李瑞;腾乐义;张建新;杨家伦;王成志 申请(专利权)人: 珠海广浩捷科技股份有限公司
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;G01B11/00
代理公司: 广州浩泰知识产权代理有限公司 44476 代理人: 陈明月
地址: 519090 广东省珠海市金湾区联*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种AVS精度验证机,包括箱体、运动系统、玻璃面板和视觉系统,箱体上包括壳体、箱盖和玻璃面板放置板;玻璃面板上设有精密点阵和“回”字形特征的标定片;运动系统包括第一电机、第二电机、第一导轨、2个第二导轨、第一同步带、第二同步带和支架;视觉系统包括相机单元、光源和控制器;设有运动系统和视觉系统,使得相机单元可以随着运动系统全方位的对放置在玻璃板放置板上的玻璃面板进行拍照收集数据;玻璃面板上设有精密点阵,有助于还原制程过程,提升位置精度,有效提高验证设备精度的效率;玻璃面板上设有“回”字形特征的标定片,能有效提升AVS精度验证系统验证取放料设备以及表面贴装设备等设备的精度。
搜索关键词: 一种 avs 精度 验证
【主权项】:
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