[实用新型]一种高质量金刚石生长托盘和生长系统有效
申请号: | 201922419930.1 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN211771655U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 彭国令;黄翀 | 申请(专利权)人: | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C30B29/04 |
代理公司: | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人: | 陶祥琲 |
地址: | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种高质量金刚石生长托盘和生长系统。一种高质量金刚石生长托盘,包括上基板台和下基板台,所述上基板台具有若干个通孔;所述通孔贯穿所述上基板台;所述下基板台具有下基板和若干凸柱,所述凸柱与所述通孔一一对应。使用本新型提供的籽晶托盘,能够保证金刚石籽晶生长环境稳定,降低表面生长缺陷数量,最终合成出高质量的单晶金刚石片,配合相应的金刚石生长方法,新生长的金刚石以层状进行生长,经过切割分离后的金刚石片可以达到光学级金刚石。 | ||
搜索关键词: | 一种 质量 金刚石 生长 托盘 系统 | ||
【主权项】:
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