[实用新型]一种长晶装置有效
| 申请号： | 201922422271.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211497866U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 方帅;高宇晗;高超;李霞;宁秀秀;王路平;张九阳;王宗玉;杨晓俐;潘亚妮;舒天宇 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种长晶装置，属于半导体材料领域。该长晶装置的保温层包括至于坩埚上方的上保温层组，上保温层组设置测温孔，上保温层组包括共中心轴的第一上保温层和第二上保温层，第一上保温层设置第一开口，第二上保温层设置第二开口，测温孔使坩埚内形成盛放原料的低温区和设置籽晶的高温区；包括旋转调节机构，旋转调节机构旋转第一上保温层和/或第二上保温层，以调节第一开口和第二开口形成的测温孔的横截面积大小，进而调节长晶过程中坩埚内轴向温度梯度和径向温度梯度。该长晶装置不仅可以调节生长单晶的生长腔内径向温度梯度；并且可以在降低径向温度梯度的同时，可以保证具有一定的轴向温度梯度，而可以高效率的制得高质量的单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922422271.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种搬运制动盘的液压机器人
- 下一篇：一种搬运铁锭的液压机器人
