[实用新型]一种可调节底座高度的推片器装置有效
| 申请号： | 201922423280.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN210805731U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘莲蓬;丁建峰;王祥;于玉斋;魏明德 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 卓小彬 |
| 地址： | 221000 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调节底座高度的推片器装置，推片器，其内部设有调解室；调节高度装置，安装在调解室内，用于对晶舟的高度调节；固定放置底座，安装在推片器平台上，用于放置晶舟。本实用新型有益技术效果：产品工序进行转换时，更换专用晶舟进行作业，每道工序所使用的晶舟之间存在差异，通过调节高度装置调整放置晶舟底座的高度，实现正常推片动作，减少对晶片造成划伤和表面脏污情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 底座 高度 推片器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州同鑫光电科技股份有限公司，未经徐州同鑫光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922423280.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
