[实用新型]一种硅片去胶装置有效
| 申请号： | 201922425131.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211707536U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈正;刘昭;周亮亮 | 申请（专利权）人： | 江苏国源激光智能装备制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 223800 江苏省宿迁市宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片去胶装置，底座本体，底座本体上部具有污水槽和气室，底座本体一侧设置有污水排水管和真空发生器，污水槽和气室的两侧设置有支撑板，气室上部设置有真空吸附模板，真空吸附模板上部具有真空吸附孔，真空吸附模板与支撑板之间设置有固定板，支撑板顶部滑动连接有横梁，横梁上部设置有升降板，升降板中间设置有气缸，气缸穿过横梁和升降板连接有去胶滚筒，支撑板两侧自上而下依次设置有溶解液进口管、清洗水进口管和热风进口管。本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；能够用于不同大小，不同厚度的硅片进行去胶，去胶更彻底、洁净，提高硅片后续加工的便捷与硅片的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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