[实用新型]一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟

摘要

本实用新型涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟。它包括若干片等间隔排布的石墨舟叶和若干石墨固定块，石墨舟叶的两侧设有电极连接耳，奇数位石墨舟叶上的电极连接耳之间通过石墨固定块统一连接，偶数位石墨舟叶上的电极连接耳之间也通过石墨固定块统一连接，奇数位上的石墨固定块和偶数位上的石墨固定块单独连接电源正负极，一般电源正负极与位于中部的石墨固定块连接，石墨舟叶之间穿设有若干根起固定作用的固定杆，相邻石墨舟叶之间设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，倾斜角为1°～9°，硅片固定位为沿石墨舟叶长度方向线性分布。