[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置有效
| 申请号： | 201922434099.7 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN210776186U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 伍家成 | 申请（专利权）人： | 肇庆市家成电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 526109 广东省肇*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体、支撑底座，所述光刻机本体的下方设置有支撑底座，支撑底座的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的上端与光刻机本体固定连接，支撑底座的为圆形，支撑底座的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座内侧设置有若干个卡托件、托板一，托板一位于卡托件的下方，支撑底座的内底部设置有圆台，所述光刻机本体的一侧设置有控制件，控制件上设置有显示面板和操作面板，本实用新型多种卡接结构，对不同型号的晶圆进行卡接固定，且卡托件采用螺纹固定，便于取下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子元件 生产 光刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于肇庆市家成电子有限公司，未经肇庆市家成电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922434099.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种行星减速器噪音测试快速夹紧机构
- 下一篇：一种人力资源绩效展示板
