[实用新型]MOCVD石墨盘

摘要

本实用新型提供了一种MOCVD石墨盘，包括：盘体及分布于所述盘体表面用于放置外延衬底的多个石墨卡槽，所述多个石墨卡槽于所述盘体上分布为内圈和外圈；在外圈的每个石墨卡槽中，于MOCVD石墨盘旋转时离心力所在方向沿石墨卡槽边缘卡持外延衬底处开设有一槽口，内部固定一与该槽口大小匹配的低导热系数高机械强度垫片。其于MOCVD石墨盘旋转时离心力所在方位沿石墨卡槽边缘卡持外延衬底处开设槽口，并在槽口内放置低导热系数高机械强度的垫片，能够改善MOCVD大尺寸外延片温度均匀性的同时提高MOCVD石墨盘的机械强度，增加石墨盘的使用寿命。