[实用新型]一种MEMS阵列传感器有效
| 申请号： | 201922441002.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN210862721U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 谷俊涛;曲家兴;孙恕;吴琼;李锐 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省网络空间研究中心 |
| 主分类号： | G01D5/00 | 分类号： | G01D5/00;G01D11/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS阵列传感器，包括压板、弹性钢片、销杆、垫片、撑块、导热硅胶垫、底板以及边框，MEMS传感器芯片下侧安装有底板，底板上端面装配有边框，边框外侧装配有弹性钢片，弹性钢片上侧连接有压板，底板上端面装配有导热硅胶垫，底板上端面装配有撑块，撑块上端面装配有销杆，销杆环形侧面下侧装配有垫片，该设计解决了原有MEMS传感器芯片不便于进行卡装固定的问题，本实用新型结构合理，便于提高MEMS传感器的固定效果，便于安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 阵列 传感器 | ||
【主权项】：
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