[实用新型]一种基于ALD镀膜的高灵敏度光波导传感器有效
| 申请号： | 201922445294.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211121268U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 李东红;刘学;翟羽佳 | 申请（专利权）人： | 苏州德睿电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01N21/17;G02B6/122;G02B6/138 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 赖婉婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光波导传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括依次设置的输入单模光波导、多模光波导和输出单模光波导，所述输入单模光波导和多模光波导之间、所述多模光波导和输出单模光波导之间分别无缝连接，所述多模光波导包括芯层、形成在所述芯层的相对二个侧面上的敏感层及形成所述芯层的其他侧面上的包层。本实用新型的光波导传感器采用输入单模光波导‑多模光波导‑输出单模光波导传感结构，并在多模芯层的侧面设置一层敏感层，大大提高此类传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ald 镀膜 灵敏度 波导 传感器 | ||
【主权项】：
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