[实用新型]一种放空废气中硅烷回收系统有效
| 申请号： | 201922466713.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN212282940U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 官健;袁野;刘品强;汪云清 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 放空 废气 硅烷 回收 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川永祥多晶硅有限公司，未经四川永祥多晶硅有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922466713.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
