[实用新型]一种提高晶体生长速度的风冷管装置有效
申请号: | 201922467269.1 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211595842U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 廖永建;张福亮;周里华 | 申请(专利权)人: | 惠磊光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 201801 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种提高晶体生长速度的风冷管装置,包括发热筒体,所述发热筒体内设置有隔热层,且发热筒体内设置有坩埚本体,所述隔热层底部位于发热筒体内滑动安装有管道,所述管道呈螺旋形环结构设置,且管道一端设置有冷气机,所述冷气机的出风口和管道一端通过钢丝软管固定连接,所述管道表面固定安装有四组滑块,其中一组所述滑块贯穿于发热筒体内壁且延伸至发热筒体外部,所述滑块位于发热筒体外部一侧设置有驱动组件,所述驱动组件包括丝杆,且丝杆一端固定安装有电机,所述电机固定安装于发热筒体外壁一侧,所述光电开关和冷气机电性连接,保证发热筒体内始终保持适合晶体快速生长的温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 晶体生长 速度 风冷 装置 | ||
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