[实用新型]一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置有效
| 申请号： | 201922470822.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211488989U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱袁正;占四兵;朱久桃;王效勇 | 申请（专利权）人： | 无锡电基集成科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02;B23K26/16;B23K26/362 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于半导体测试分选机的激光打标粉尘收集装置，包括吸尘组件和集尘组件，所述吸尘组件包括吸尘腔体及其支架，所述吸尘腔体右侧面下部设有真空接口，顶面上设有开口，底面上设有吸尘口，所述开口上设有透明密封盖，所述吸尘腔体内设有吸尘管路和真空管路；所述集尘组件包括相匹配的盖板和箱体，箱体的左侧面上设有进气口，右侧面上设有出气口，箱体内部位于进气口与出气口之间的相对的两个侧面上设有相对的插槽，插槽用于镶嵌初效过滤器；本案利用工厂裕度较大的真空动力作为吸尘动力源且吸尘口与加工界面贴合，能够最大限度地减少粉尘的扩散和蔓延，不仅除尘效果好，而且降低了除尘成本和除尘能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 测试 分选 激光 粉尘 收集 装置 | ||
【主权项】：
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