[实用新型]一种对夹型配重的顶针结构

摘要

本实用新型涉及一种对夹型配重的顶针结构，属于半导体设备领域。本实用新型所述的对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。本实用新型所述的对夹型配重的顶针机构，采用的对夹配重单元防止顶针在运动过程中发生倾斜导致断裂。采用的对夹配重单元使得顶针的重心下移，重心驱使顶针保持一个垂直的状态不会发生倾斜。保证下顶针在升降的过程中形成独立的垂直状态不会与周边设备发生接触摩擦，进一步增加了顶针在运动过程中的稳定性，解决了顶针卡断的问题。