[实用新型]一种气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种气相沉积炉，解决了现阶段的气相沉积炉的沉积质量有待提高的问题。其技术方案要点是一种气相沉积炉包括加热炉体和料架；加热炉体具有反应空腔，加热炉体内设有布气管道，布气管道的中部还设有将布气管道的通道隔断的隔板，布气管道的两端均设有为布气管道供气的进气管道；加热炉体的两端设有与反应空腔连通的排气管道、控制排气管道开闭的排气阀，气相沉积炉还设有与排气管道连接的真空泵；料架包括旋转轴和安装于旋转轴的转筒；加热炉体还设有驱动转筒旋转的驱动电机，加热炉体还设有旋转支撑于旋转轴两端的支撑组件，所述气相沉积炉中在反应过程中反应空腔内的反应气体较为均匀，提升了纤维材料表面的沉积层的质量。