[实用新型]一种ITO薄膜均匀镀膜装置有效
| 申请号： | 201922484298.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN212370468U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王光华 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/40 | 分类号： | B05B16/40;B05B14/43;B05B14/48 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO薄膜均匀镀膜装置，包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置；将ITO薄膜经过镀膜箱内部的镀膜池内，通过注液口和镀膜液喷淋管注入镀膜液对ITO薄膜进行喷淋镀膜，喷淋多余的镀膜液经过镀膜池内部的注液板流入到排液口处，在经过排液口向外侧排出，此时，过滤箱主要用于对镀膜箱内的粉尘进行吸附过滤，空气会依次沿着下导流通道和上导流通道之间的V型流道流动，从而被吸附和冷却，吸附效果高且冷却效果也好；无纺布表面可植入绒毛，导热板和冷却管均可为铝制或铜制，增加导热性，冷却管可以外接接冷却水，下过滤网可以避免其他大尺寸物体进入过滤箱内，上过滤网避免其他物体进入抽真空泵内，起到保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 薄膜 均匀 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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