[实用新型]位移测量传感装置和位移测量传感系统有效
申请号: | 201922487281.9 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211262124U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 杜路平;安礼相;石鹏;袁小聪 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 谢阅 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种位移测量传感装置和位移测量传感系统。其中,该位移测量传感装置包括:光线发生模块、光路模块、响应模块以及检测模块。光线发生模块用于生成不同波长的至少两束光束;光路模块与光线发生模块的光线输出端正对设置,光路模块对传入的光束进行相位调制形成多个检测光束,并传出多个检测光束;响应模块与光路模块对应设置,响应模块用于承载物体,多个检测光束照射至响应模块和物体;检测模块对应响应模块设置,用于获取响应模块和/或物体反射的光线。本实用新型位移测量传感装置提高光学成像的精准度。 | ||
搜索关键词: | 位移 测量 传感 装置 系统 | ||
【主权项】:
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