[实用新型]蒸发源的加热装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201922489026.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN212128286U | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 轩景泉;林文晶;钱海涛;马晓宇;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括：加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。本申请提供的蒸发源的加热装置，结构简单，使用方便，能够实现对于蒸发源温度的准确实时的监控，提高蒸发源的蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 加热 装置 设备 | ||
【主权项】：
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