[实用新型]一种治具有效
| 申请号： | 201922500436.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN212442465U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张续朋;杨彦伟;陆一锋 | 申请（专利权）人： | 芯思杰技术（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 李雪鹃 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种治具，属于半导体技术领域。本实用新型的治具包括上端开口设置的容置腔体，所述容置腔体呈方形，所述容置腔体的第一面的内壁上设有若干沿上下方向设置的第一卡槽，所述容置腔相对的第二面的内壁上设有若干与所述第一卡槽一一对应的第二卡槽，所述容置腔体的下端设置有第一限位板与第二限位板，所述第一限位板分别与若干所述第一卡槽的末端相连，所述第二限位板分别与若干所述第二卡槽的末端相连。本实用新型的治具可以对批量的光刻掩膜版进行清洗，提高了光刻掩膜版的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 | ||
【主权项】：
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