[实用新型]压电MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922501160.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211296939U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;沈宇;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风，具有背腔的基底、悬置于所述背腔的振膜以及连接在所述振膜与所述基底之间的弹性支撑件，及固定于所述基底上的振膜，所述振膜远离所述背腔的侧面沿所述振膜的振动方向的两侧分别设有第一压电膜片，所述振膜朝向所述背腔的侧面上设有和第二压电膜片，所述第二压电膜片与所述第一压电膜片并联。本设计主要在振膜的下方制备与第一压电膜片振膜上方对应的第二压电膜片对应的结构，第二压电膜片与第一压电膜片并联连接，该设计方法会小幅降低灵敏度，但是由于并联后电容增加了一倍，其噪声会大幅度减小，因此总的信噪比(SNR)会有可观的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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