[实用新型]一种抛光头装置及抛光机有效
| 申请号： | 201922501484.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211465964U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工技术领域，公开了一种抛光头装置及抛光机。抛光头装置包括基座，基座的一侧可拆卸连接于外部动力件，基座内设置有气通道；转轴，其一端连接于基座的另一侧；抛光头组件，连接于转轴的另一端并能够随转轴一起转动，同时，抛光头组件能够沿转轴的轴向往复运动，且能够相对于转轴摆动；弹性件，弹性件的边缘贴设于基座的一侧表面，且能够与基座围成密封空间；密封空间未充气时，抛光头组件能够被待抛光的硅片挤压沿转轴的轴向向靠近基座的方向运动；气通道向密封空间充气时，使弹性件鼓胀，能够驱动抛光头组件沿转轴的轴向向远离基座的方向运动，同时能够均匀施加压力，抛光过程中使硅片受力均衡，更有效抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 抛光机 | ||
【主权项】：
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