[发明专利]用于在半导体制造中定位图案的标记有效
| 申请号： | 201980000333.5 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN109983567B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张豆豆;邱瑾玉;宋之洋;何骏;高志虎;冯耀斌 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了半导体制造方法的实施例。在示例中，公开了一种用于形成标记的方法，所述标记用于在半导体制造中定位图案。将晶片划分成多个画面。所述多个画面中的每一个画面包括半导体芯片管芯。随后在所述多个画面中的四个相邻画面的四个角处分别图案化锁定角标记的四个四分之一。所述锁定角标记的每一个四分之一与所述锁定角标记的相邻四分之一对称并且与所述锁定角标记的所述相邻四分之一分开标称上相同的距离。将所述锁定角标记设定为用于在半导体制造中定位所述四个相邻画面中的至少一个画面中的图案的原点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 定位 图案 标记 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成标记的方法，所述标记用于在半导体制造中定位图案，所述方法包括：将晶片划分成多个画面，其中，所述多个画面中的每一个画面包括半导体芯片管芯；随后在所述多个画面中的四个相邻画面的四个角处分别图案化锁定角标记的四个四分之一，其中，所述锁定角标记的每一个四分之一与所述锁定角标记的相邻四分之一对称并且与所述锁定角标记的所述相邻四分之一分开标称上相同的距离；以及将所述锁定角标记设定为用于在半导体制造中在所述四个相邻画面中的至少一个画面中定位图案的原点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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