[发明专利]纳米压印模具及其制造方法、使用纳米压印模具的图案转印方法在审
| 申请号： | 201980001025.4 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110494804A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 康昭;郭康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸<国际申请>=PCT/CN |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及纳米压印模具。纳米压印模具可以包括衬底基板。衬底基板可以包括主区域和围绕主区域的次区域。主区域可以包括模具结构，并且模具结构可以包括多个第一凹部和多个第一凸部。次区域可以包括栅结构，并且栅结构可以包括多个第二凹部和多个第二凸部。第二凸部中的至少一个的高度大于第一凸部中的至少一个的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 凸部 主区域 纳米压印模具 衬底基板 模具结构 次区域 栅结构 凹部 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印模具，包括：/n衬底基板，所述衬底基板包括主区域和围绕所述主区域的次区域；/n其中，所述主区域包括模具结构，并且所述模具结构包括多个第一凹部和多个第一凸部，所述次区域包括栅结构，所述栅结构包括多个第二凹部和多个第二凸部，并且/n所述多个第二凸部中的至少一个的高度大于所述多个第一凸部中的至少一个的高度。/n
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