[发明专利]电容器及其制作方法有效
| 申请号： | 201980001219.4 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112449725B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 陆斌;沈健 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 徐勇勇;范华英 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种电容器及其制作方法，电容器包括：半导体衬底，包括至少一个衬底沟槽组；至少一个叠层结构，每个叠层结构包括n层导电层和m层电介质层，n层导电层中的第一层导电层设置于半导体衬底上方和衬底沟槽组内，n层导电层中的第i层导电层形成有第i导电层沟槽组，n层导电层中的第i+1层导电层设置于第i层导电层的上方和第i导电层沟槽组内，m、n、i为正整数，且n≥2，1≤i≤n‑1；至少一个第一外接电极，电连接至n层导电层中的一部分导电层；至少一个第二外接电极，电连接至n层导电层中的另一部分导电层，一部分导电层中的每层导电层在叠层结构中相邻的导电层包括有另一部分导电层中的至少一个导电层。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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