[发明专利]掩模板及其制作方法、显示基板的制作方法有效
| 申请号： | 201980001980.8 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112996944B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 罗昶;嵇凤丽;吴建鹏;杨忠英 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云;刘晓冰 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模板及其制作方法以及显示基板的制作方法。该掩模板包括：在第一方向上彼此相对的第一夹持区、第二夹持区，以及位于第一夹持区和第二夹持区之间的至少一个网孔区，网孔区呈第一形状，在掩模板受到沿第一方向的拉力时，网孔区呈目标形状，目标形状与第一形状不同，该目标形状为多边形、圆形或者椭圆形。该掩模板在拉伸后具有目标形状，因此该掩模板形成的掩模装置具有较高的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 及其 制作方法 显示 | ||
【主权项】：
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